ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

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ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

秩父重英研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成16年度-平成18年度）

[秩父重英], 2007.5

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ヘリコンハ レイキ プラズマ スパッタホウ ニヨル サンカブツ ハンドウタイ ユウデンタイ エレクトロニクス ノ テンカイ

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研究課題番号: 16360146

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Details

  • NCID
    BA8264703X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [つくば]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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