ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開
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ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開
(科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成16年度-平成18年度)
[秩父重英], 2007.5
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ヘリコンハ レイキ プラズマ スパッタホウ ニヨル サンカブツ ハンドウタイ ユウデンタイ エレクトロニクス ノ テンカイ
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注記
研究課題番号: 16360146