半導体イオン検出器を用いた二次電子自己回収型イオン絶対電流量計測器アレイの開発

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半導体イオン検出器を用いた二次電子自己回収型イオン絶対電流量計測器アレイの開発

平田真史研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17-18年度）

[平田真史], 2007.3

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ハンドウタイ イオン ケンシュツキ オ モチイタ ニジ デンシ ジコ カイシュウガタ イオン ゼッタイ デンリュウリョウ ケイソクキ アレイ ノ カイハツ

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研究課題番号: 17540465

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Details

  • NCID
    BA82851116
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [つくば]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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