半導体イオン検出器を用いた二次電子自己回収型イオン絶対電流量計測器アレイの開発

書誌事項

半導体イオン検出器を用いた二次電子自己回収型イオン絶対電流量計測器アレイの開発

平田真史研究代表

(科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17-18年度)

[平田真史], 2007.3

タイトル読み

ハンドウタイ イオン ケンシュツキ オ モチイタ ニジ デンシ ジコ カイシュウガタ イオン ゼッタイ デンリュウリョウ ケイソクキ アレイ ノ カイハツ

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研究課題番号: 17540465

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA82851116
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    engjpn
  • 出版地
    [つくば]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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