よくわかる真空技術
著者
書誌事項
よくわかる真空技術
（入門ビジュアルテクノロジー）
日本実業出版社, 2007.9
- タイトル別名
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真空技術 : よくわかる
- タイトル読み
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ヨク ワカル シンクウ ギジュツ
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注記
参考文献: 巻末
内容説明・目次
内容説明
近年、めざましい発展を遂げるエレクトロニクス分野では、真空中で作られる薄膜を利用した製品が数多く使われています。それはこれらのデバイスの超小型化、高機能化・高信頼性、省資源化、低コスト化に対して、薄膜が大きく貢献しているからです。そしてこうした電子・電気・通信分野だけでなく、材料分析や医薬品・食品、エネルギー・環境など、多くの最先端技術において真空は、その発展を支えています。本書は、こうした真空をつくり出して利用する方法・技術をなるべくやさしく紹介しています。
目次
- １章 真空とはどのような状態をいうのだろうか（「真空」とは空間に何もない状態ではない；真空を作るには、空間から気体分子を吸い出す ほか）
- ２章 真空を利用した生活用品一身のまわりにある真空技術（水分を凍らせて低圧で昇華させる凍結真空乾燥；真空内で沸点の違いを利用する真空蒸留 ほか）
- ３章 真空のつくり方・計り方（つくる装置／計る装置）（真空をつくる基本的な装置 排気セット；実際の排気セットは主ポンプ・補助ポンプ＋各装置 ほか）
- ４章 真空を利用した薄膜加工技術（真空を利用した薄膜堆積法にはいろいろな方法がある；ＰＶＤの代表的手法スパッタ成膜法 ほか）
- ５章 真空産業の将来（真空技術の新しい活用（１）ナノパーティクル；真空技術の新しい活用（２）カーボンナノチューブ ほか）
「BOOKデータベース」 より
