金属積層薄膜化に伴う疲労・電気的特性変化とその幾何学的構造支配因子

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書誌事項

金属積層薄膜化に伴う疲労・電気的特性変化とその幾何学的構造支配因子

研究代表者:鳥居太始之

(科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成16-18年度)

鳥居太始之, 2007.5

タイトル読み

キンゾク セキソウ ハクマクカ ニ トモナウ ヒロウ・デンキテキ トクセイ ヘンカ ト ソノ キカガクテキ コウゾウ シハイ インシ

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注記

課題番号: 16360056

平成16年度-平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

研究分担者: 清水憲一

研究協力者: 松葉朗

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA8295986X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [岡山]
  • ページ数/冊数
    36p
  • 大きさ
    30cm
  • 分類
  • 親書誌ID
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