絵とき放電技術基礎のきそ

著者

• 小林, 春洋 コバヤシ, ハルヒロ

書誌事項

絵とき放電技術基礎のきそ

小林春洋著

（Electronics series）

日刊工業新聞社, 2007.8

タイトル別名

「放電技術」基礎のきそ : 絵とき

放電技術基礎のきそ : 絵とき

タイトル読み

エトキ ホウデン ギジュツ キソ ノ キソ

注記

参考文献: p174-176

内容説明・目次

内容説明

ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。

目次

• 第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは；高度情報化社会を支える放電技術　ほか）
• 第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子；電子の３つの顔　ほか）
• 第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突；放電開始　ほか）
• 第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜；プラズマＣＶＤ　ほか）
• 第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録；超ＬＳＩ　ほか）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BA83111192
• ISBN:
  • 9784526058653
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 178p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 427.5
  • NDC9 : 427.5
• 件名:
  • BSH : 放電
  • BSH : プラズマ物理学
• 親書誌ID:
  • BA79977932