絵とき放電技術基礎のきそ

Author(s)

• 小林, 春洋 コバヤシ, ハルヒロ

Bibliographic Information

絵とき放電技術基礎のきそ

小林春洋著

（Electronics series）

日刊工業新聞社, 2007.8

Other Title

「放電技術」基礎のきそ : 絵とき

放電技術基礎のきそ : 絵とき

Title Transcription

エトキ ホウデン ギジュツ キソ ノ キソ

Note

参考文献: p174-176

Description and Table of Contents

Description

ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。

Table of Contents

• 第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは；高度情報化社会を支える放電技術　ほか）
• 第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子；電子の３つの顔　ほか）
• 第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突；放電開始　ほか）
• 第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜；プラズマＣＶＤ　ほか）
• 第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録；超ＬＳＩ　ほか）

by "BOOK database"

Details

• NCID: BA83111192
• ISBN:
  • 9784526058653
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: viii, 178p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 427.5
  • NDC9 : 427.5
• Subject Headings:
  • BSH : 放電
  • BSH : プラズマ物理学
• Parent Bibliography ID:
  • BA79977932