高機能化のためのDLC成膜技術

Author(s)

    • 近畿高エネルギー加工技術研究所ドライコーティング研究会 キンキ コウエネルギー カコウ ギジュツ ケンキュウジョ ドライ コーティング ケンキュウカイ

Bibliographic Information

高機能化のためのDLC成膜技術

近畿高エネルギー加工技術研究所ドライコーティング研究会編

日刊工業新聞社, 2007.9

Other Title

Diamond like carbon

DLC成膜技術 : 高機能化のための

Title Transcription

コウキノウカ ノ タメ ノ DLC セイマク ギジュツ

Available at  / 48 libraries

Note

監修: 池永勝

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第1章 DLC膜と成膜技術(DLC膜とは;DLC膜の特性 ほか)
  • 第2章 DLCコーティングの市場(DLCコーティング市場の定義と市場動向;DLCコーティングの受託加工推移 ほか)
  • 第3章 DLC膜の工業的応用(イオン化蒸着法によるDLC膜の特性と応用;P‐CVD法によるDLC膜の特性と応用 ほか)
  • 第4章 今後の開発課題(DLC膜のさらなる品質向上について;生産技術について ほか)

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Details

  • NCID
    BA83373836
  • ISBN
    • 9784526059414
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    x, 235p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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