高機能化のためのDLC成膜技術

Author(s)

• 近畿高エネルギー加工技術研究所ドライコーティング研究会 キンキ コウエネルギー カコウ ギジュツ ケンキュウジョ ドライ コーティング ケンキュウカイ
• 池永, 勝 イケナガ, マサル

Bibliographic Information

高機能化のためのDLC成膜技術

近畿高エネルギー加工技術研究所ドライコーティング研究会編

日刊工業新聞社, 2007.9

Other Title

Diamond like carbon

DLC成膜技術 : 高機能化のための

Title Transcription

コウキノウカ ノ タメ ノ DLC セイマク ギジュツ

Note

監修: 池永勝

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　ＤＬＣ膜と成膜技術（ＤＬＣ膜とは；ＤＬＣ膜の特性　ほか）
• 第２章　ＤＬＣコーティングの市場（ＤＬＣコーティング市場の定義と市場動向；ＤＬＣコーティングの受託加工推移　ほか）
• 第３章　ＤＬＣ膜の工業的応用（イオン化蒸着法によるＤＬＣ膜の特性と応用；Ｐ‐ＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の特性と応用　ほか）
• 第４章　今後の開発課題（ＤＬＣ膜のさらなる品質向上について；生産技術について　ほか）

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• NCID: BA83373836
• ISBN:
  • 9784526059414
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: x, 235p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 501.48
  • NDC9 : 501.48
• Subject Headings:
  • BSH : 炭素
  • BSH : 薄膜