プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明

著者

• 浜口, 智志 ハマグチ, サトシ

書誌事項

プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明

研究代表者 浜口智志

[浜口智志], 2007.3

タイトル別名

平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

プラズマ スパッタリング ニ オケル ヒカリ ユウキ ヒョウメン ハンノウ プロセス ノ カイメイ

注記

[課題番号]: 17340174

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA83700400
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm