LSI故障解析技術のすべて : 開発促進・歩留向上・信頼性向上のキーテクノロジー
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書誌事項
LSI故障解析技術のすべて : 開発促進・歩留向上・信頼性向上のキーテクノロジー
工業調査会, 2007.11
- タイトル別名
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LSI failure analysis
LSI故障解析技術のすべて : 開発促進歩留向上信頼性向上のキーテクノロジー
- タイトル読み
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LSI コショウ カイセキ ギジュツ ノ スベテ : カイハツ ソクシン・ブドマリ コウジョウ・シンライセイ コウジョウ ノ キー テクノロジー
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注記
参考文献: p[205]-214
内容説明・目次
目次
- 第１章 ＬＳＩの故障とその特徴（故障解析に関連するＬＳＩのトレンド；ＬＳＩの故障の特徴；ＬＳＩの故障モードと故障メカニズム）
- 第２章 ＬＳＩ故障解析技術概論（ＬＳＩ故障解析の基本の「き」；故障解析の手順；故障解析技術の分類；パッケージ部の故障解析；チップ部の故障解析）
- 第３章 故障解析事例（ＤＲＡＭのＩＲ‐ＯＢＩＲＣＨなどによる解析事例；ロジックＬＳＩの解析事例；パワーＭＯＳ−ＦＥＴの解析事例；ＴｉＳｉ配線の解析事例；銅配線の解析事例；パッケージ中ボイドの解析事例）
- 第４章 新しい故障解析関連技術の開発動向（光を利用した故障解析技術発展の流れと最近の動向；ＯＢＩＲＣＨ関連技術発展の流れと最近の動向；そのほかの故障解析技術関連の開発動向；ＬＳＩＴＳ（ＬＳＩテスティングシンポジウム），ＩＳＴＦＡ（故障解析国際会議）にみる動向）
「BOOKデータベース」 より