MEMSマテリアルの最新技術

著者

• 江刺, 正喜 エサシ, マサヨシ

書誌事項

MEMSマテリアルの最新技術

江刺正喜監修

シーエムシー出版, 2007.11

タイトル別名

Advanced technology of MEMS material

タイトル読み

MEMS マテリアル ノ サイシン ギジュツ

注記

カバーにシリーズ名の表記あり 新材料・新素材シリーズ

文献: 節末

内容説明・目次

目次

• 序章　ＭＥＭＳの基礎と応用
• 第１章　ＭＥＭＳ材料（圧電薄膜（ＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ）；カーボンナノチューブ　ほか）
• 第２章　ＭＥＭＳの製作（レジスト塗布・露光技術；エッチング技術　ほか）
• 第３章　ＭＥＭＳデバイス（ＭＥＭＳジャイロ；時間・周波数源用ＭＥＭＳ共振子　ほか）
• 第４章　ＭＥＭＳ周辺と応用（身の回りの機械に使われているＭＥＭＳ（東北大学‐早稲田塾のスーパーナノメカニクスプログラム）；静電容量型ＭＥＭＳセンサ用ＬＳＩ　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA84375112
• ISBN:
  • 9784882319689
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 368p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン