はじめての半導体計測
著者
書誌事項
はじめての半導体計測
(ビギナーズブックス, 45)
工業調査会, 2008.3
- タイトル読み
-
ハジメテ ノ ハンドウタイ ケイソク
大学図書館所蔵 件 / 全46件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
参考文献あり
内容説明・目次
内容説明
計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のIT(情報技術)時代・ユビキタス社会(どこにでもコンピュータが存在する社会)を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。
目次
- 第1章 計測(計測とは;計測の機能;計測の性能;トレーサビリティ)
- 第2章 半導体計測(半導体計測の種類;半導体計測の特徴;半導体計測の手法)
- 第3章 主な半導体計測(パターン寸法・LER(LWR)・形状の観測;微粒子・パターン欠陥の検査;膜厚の測定;ウエーハ表面汚染物質の分析;補足:既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用)
「BOOKデータベース」 より