エレクトロニクス薄膜技術
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エレクトロニクス薄膜技術
（CMCテクニカルライブラリー, 287）
シーエムシー出版, 2008.5
普及版
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次世代エレクトロニクス薄膜技術
Thin film technology for electronics
- Title Transcription
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エレクトロニクス ハクマク ギジュツ
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Note
初版のタイトル: 次世代エレクトロニクス薄膜技術
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第１章 薄膜作製技術の歴史と意義
- 第２章 計算化学による結晶成長制御手法
- 第３章 常圧プラズマＣＶＤ技術とその応用
- 第４章 ラダー電極を用いたＶＨＦプラズマ応用薄膜形成技術
- 第５章 触媒化学気相堆積法とその応用
- 第６章 コンビナトリアルテクノロジー—集積化薄膜技術による材料開発の革新
- 第７章 パルスパワー技術と応用
- 第８章 半導体薄膜の作製
- 第９章 ナノ構造磁性薄膜の作製とスピントロニクスへの応用
- 第１０章 強誘電体薄膜の作製とメモリ素子への応用
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