無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析

著者

• 畑山, 智亮 ハタケヤマ, トモアキ

書誌事項

無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析

研究代表者畑山智亮

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成18-19年度）

[奈良先端科学技術大学院大学], 2008.3

タイトル別名

平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

タイトル読み

ムテンイ シリコン カーバイド セイチョウ ニ ムケタ ヒョウメン カイシツ ト コウブンカイノウ ヒハカイ カイセキ

注記

課題番号:18560305

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA86364911
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [生駒]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121