無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析

Author(s)

    • 畑山, 智亮 ハタケヤマ, トモアキ

Bibliographic Information

無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析

研究代表者畑山智亮

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成18-19年度）

[奈良先端科学技術大学院大学], 2008.3

Other Title

平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

Title Transcription

ムテンイ シリコン カーバイド セイチョウ ニ ムケタ ヒョウメン カイシツ ト コウブンカイノウ ヒハカイ カイセキ

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Note

課題番号:18560305

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Details

  • NCID
    BA86364911
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [生駒]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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