無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析
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書誌事項
無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析
（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成18-19年度）
[奈良先端科学技術大学院大学], 2008.3
- タイトル別名
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平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
- タイトル読み
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ムテンイ シリコン カーバイド セイチョウ ニ ムケタ ヒョウメン カイシツ ト コウブンカイノウ ヒハカイ カイセキ
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注記
課題番号:18560305