機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発
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機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成16年度-平成18年度）
[茨城大学大学院理工学研究科], 2008.5
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キノウセイ フクゴウ カゴウブツ ザイリョウ ノ ゴウセイ ニムケタ センタクテキ ウンドウリョウ セイギョガタ プラズマ セイマク ギジュツ ノ カイハツ
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注記
研究課題番号: 16360356