Surfaces, interfaces, and thin films for microelectronics

著者

• Irene, Eugene A.

書誌事項

Surfaces, interfaces, and thin films for microelectronics

Eugene A. Irene

Wiley-Interscience, c2008

• : hard

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BA86791865
• ISBN:
  • 9780470174470
• LCCN: 2007024692
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Hoboken, N.J.
• ページ数/冊数: xiii, 515 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : QD506
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Surface chemistry
  • LCSH : Interfaces (Physical sciences)
  • LCSH : Thin films
  • LCSH : Microelectronics -- Materials