現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
著者
書誌事項
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
日刊工業新聞社, 2008.8
- タイトル別名
-
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
- タイトル読み
-
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
大学図書館所蔵 全77件
この図書・雑誌をさがす
注記
参考文献: p372-380
内容説明・目次
目次
- 第１部 基礎編（はじめに；スパッタリングの基礎知識；いろいろなスパッタ法；反応性高速スパッタ法）
- 第２部 実践編（ターゲットとカソード；アーキング対策とアノード；コンポーネント；膜質）
- 第３部 応用編（装置；測定；応用）
「BOOKデータベース」 より