電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作
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電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作
（科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書, 平成8年度-平成10年度）
榊原建樹, 1999.3
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デンリョクヨウ デバイス ゼツエン ホウネツ ニ テキシタ チッカ アルミニウム マク セイセイ シンクウ アーク ジョウチャク ソウチ ノ シサク
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課題番号: 08555075