フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

著者

• Mack, Chris A.
• 木下, 博雄 キノシタ, ヒロオ

書誌事項

フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

Chris A.Mack著 ; 木下博雄訳

（SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター）

オプトロニクス社, 2008.9

タイトル別名

Field guide to optical lithography

オプティカルリソグラフィー

タイトル読み

フィールド ガイド オプティカル リソグラフィー

注記

原著(Bellingham, Wash. : SPIE, c2006)の翻訳

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA87772822
• ISBN:
  • 9784902312331
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 原本言語コード: eng
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xii, 133p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• 件名:
  • BSH : リソグラフィー
• 親書誌ID:
  • BA87289924