マイクロプラズマ : 基礎と応用
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マイクロプラズマ : 基礎と応用
オーム社, 2009.3
- タイトル別名
-
マイクロプラズマ
- タイトル読み
-
マイクロプラズマ : キソ ト オウヨウ
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注記
その他の編著者: 石井彰三, 寺嶋和夫, 白藤立
参考文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 第1章 序論(マイクロプラズマの定義とその特徴;マイクロプラズマの生成 ほか)
- 第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象(高密度媒質による特徴;微小性による特徴 ほか)
- 第3章 マイクロプラズマの生成(気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術;液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術 ほか)
- 第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション(プラズマメータの計測;気相・表面近傍での反応活性種の計測 ほか)
- 第5章 マイクロプラズマの応用(材料プロセス応用;微量化学分析・センサへの応用 ほか)
「BOOKデータベース」 より