超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価
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超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価
(科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成18年度〜平成19年度)
広島大学大学院工学研究科, 2008.5
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チョウテイマサツ ケイスウ アモルファス SiC ハクマク ノ ソウセイ オヨビ マサツ ハクリ キョウド ヒョウカ
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研究課題番号: 18560134
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