超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価

著者

• 加藤, 昌彦 ( 工学) カトウ, マサヒコ

書誌事項

超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価

研究代表者 加藤昌彦

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成18年度〜平成19年度）

広島大学大学院工学研究科, 2008.5

タイトル読み

チョウテイマサツ ケイスウ アモルファス SiC ハクマク ノ ソウセイ オヨビ マサツ ハクリ キョウド ヒョウカ

注記

研究課題番号: 18560134

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詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA90092950
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: 東広島
• ページ数/冊数: 48枚
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121