電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究
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電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成8年度~平成9年度)
[北海道大学大学院工学研究科], 1998.3
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デンシ レイキ ニヨル ガラス テンイ ト ソノ ビサイ カコウ エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ
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注記
課題番号: 08650001