スパッタ実務「Q&A集」

著者

• 藤本, 登 フジモト, ノボル

書誌事項

スパッタ実務「Q&A集」

藤本登企画編集

技術情報協会, 2009.1

タイトル別名

スパッタ実務Q&A集

タイトル読み

スパッタ ジツム Q&A シュウ

注記

背に「1514」とあり

文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA90871345
• ISBN:
  • 9784861042768
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 315p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : スパッタリング