マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
Author(s)
Bibliographic Information
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
シーエムシー出版, 2009.10
- Other Title
-
新材料・新素材シリーズ
Etching for micro/nano fabrication
マイクロナノデバイスのエッチング技術
- Title Transcription
-
マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
Available at / 18 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
カバージャケットに「新材料・新素材シリーズ」の表示あり
Description and Table of Contents
Table of Contents
- ウエットエッチング編（ウエットエッチングの基礎；シリコン結晶異方性エッチングの基礎；エッチピットおよびマイクロピラミッド発生メカニズム ほか）
- ドライエッチング編（ドライエッチングの基礎と各種パラメータの最適化；プラズマエッチングにおける表面反応機構；シリコン深堀エッチング ほか）
- エッチング技術の高機能化編（ウエハ回転方式によるシリコンエッチングの高精度均一化；電圧印加による等方性および異方性の制御；多段異方性エッチングによるエッチング形状の複雑化 ほか）
by "BOOK database"