マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
著者
書誌事項
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
シーエムシー出版, 2009.10
- タイトル別名
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新材料・新素材シリーズ
Etching for micro/nano fabrication
マイクロナノデバイスのエッチング技術
- タイトル読み
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マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
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注記
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内容説明・目次
目次
- ウエットエッチング編（ウエットエッチングの基礎；シリコン結晶異方性エッチングの基礎；エッチピットおよびマイクロピラミッド発生メカニズム ほか）
- ドライエッチング編（ドライエッチングの基礎と各種パラメータの最適化；プラズマエッチングにおける表面反応機構；シリコン深堀エッチング ほか）
- エッチング技術の高機能化編（ウエハ回転方式によるシリコンエッチングの高精度均一化；電圧印加による等方性および異方性の制御；多段異方性エッチングによるエッチング形状の複雑化 ほか）
「BOOKデータベース」 より
