超精密位置決め技術

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超精密位置決め技術

大塚二郎著

養賢堂, 2010.1

タイトル読み

チョウセイミツ イチギメ ギジュツ

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注記

参考文献: 章末

内容説明・目次

目次

  • 1章 超精密位置決め技術の基礎
  • 2章 超精密位置決め達成法
  • 3章 アッベの原理
  • 4章 変位センサ
  • 5章 構造要素
  • 6章 制御
  • 7章 熱変形対策
  • 8章 振動対策
  • 9章 転がり要素の非線形ばね特性
  • 10章 ボールねじ対リニアモータ

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB00991802
  • ISBN
    • 9784842504643
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    10, 178p
  • 大きさ
    21cm
  • 分類
  • 件名
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