MEMSデバイス総論

著者

    • 植田, 敏嗣 ウエダ, トシツグ

書誌事項

MEMSデバイス総論

植田敏嗣監修

サイエンス&テクノロジー, 2009.4

タイトル読み

MEMS デバイス ソウロン

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注記

参考文献: 各章末

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB01488742
  • ISBN
    • 9784903413655
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    301p
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
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