低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

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低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

研究代表者 下妻光夫

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成3年度）

[北海道大学医療技術短期大学部], 1992.3

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テイシュウハ 50Hz プラズマ CVDホウ ニヨル カーボン ハクマク ノ テイオン ケイセイ プロセス ノ カイハツ

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課題番号: 02555056

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Details

  • NCID
    BB01824012
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [札幌]
  • Pages/Volumes
    155p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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