Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations 大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価
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Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations = 大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価
丁毅, 2010.3
- タイトル読み
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Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations = タイキアツ マイクロプラズマ ジェット ニヨリ サクセイ シタ SiOC ハクマク ト ソノ ビサイ コウゾウ コウガク デンキテキ ブッセイ ヒョウカ
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注記
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Thesis(doctral)--Saitama University, 2010 博理工甲第777号
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