粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発

著者

• 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ

書誌事項

粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発

豊田浩孝 [ほか著]

[出版者不明], 2008.3

タイトル別名

平成18～19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

タイトル読み

リュウシ エネルギー セイギョガタ シンキ マグネトロン プラズマ ゲン ノ カイハツ

注記

課題番号: 18540489

研究分担者: 石島達夫

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB04721912
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: [12] , 37p
• 大きさ: 30cm