ナノインプリント技術および装置の開発

著者

• 松井, 真二 マツイ, シンジ
• 古室, 昌徳 コムロ, マサノリ

書誌事項

ナノインプリント技術および装置の開発

松井真二, 古室昌徳監修

（CMCテクニカルライブラリー, 383 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ）

シーエムシー出版, 2011.2

普及版

タイトル別名

Development of nanoimprint and its device

ナノインプリントの開発と応用

タイトル読み

ナノインプリント ギジュツ オヨビ ソウチ ノ カイハツ

注記

「ナノインプリントの開発と応用」(2005年刊行) の改題

文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• 第１章　総説（転写方式；周辺技術　ほか）
• 第２章　転写方式（熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ；室温ナノインプリント技術　ほか）
• 第３章　装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド　ほか）
• 第４章　デバイス応用（電子・磁気・光学デバイス；光デバイス　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB05003947
• ISBN:
  • 9784781303024
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: iv, 213p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDC9 : 549
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : ナノインプリント
• 親書誌ID:
  • BA49949541