ナノインプリント技術および装置の開発

Author(s)

• 松井, 真二 マツイ, シンジ
• 古室, 昌徳 コムロ, マサノリ

Bibliographic Information

ナノインプリント技術および装置の開発

松井真二, 古室昌徳監修

（CMCテクニカルライブラリー, 383 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ）

シーエムシー出版, 2011.2

普及版

Other Title

Development of nanoimprint and its device

ナノインプリントの開発と応用

Title Transcription

ナノインプリント ギジュツ オヨビ ソウチ ノ カイハツ

Note

「ナノインプリントの開発と応用」(2005年刊行) の改題

文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　総説（転写方式；周辺技術　ほか）
• 第２章　転写方式（熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ；室温ナノインプリント技術　ほか）
• 第３章　装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド　ほか）
• 第４章　デバイス応用（電子・磁気・光学デバイス；光デバイス　ほか）

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Details

• NCID: BB05003947
• ISBN:
  • 9784781303024
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: iv, 213p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549
  • NDC9 : 549
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : ナノインプリント
• Parent Bibliography ID:
  • BA49949541