ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究

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ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究

浅野種正研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成15年度-平成17年度）

[九州工業大学], 2006.3

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ナノ・インプリント ギジュツ ニヨル シリコン ハクマク ノ ケッショウ イチ ト ホウ イセイギョ ノ ケンキュウ

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  • NCID
    BB05268985
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [北九州]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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