はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems

Author(s)

• 江刺, 正喜 エサシ, マサヨシ

Bibliographic Information

はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems

江刺正喜著

森北出版, 2011.3

Other Title

はじめてのMEMS

Title Transcription

ハジメテ ノ MEMS : micro electro mechanical systems

Note

工業調査会 2009年刊の再刊

参考文献あり

Description and Table of Contents

Description

最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳをわかりやすく解説。

Table of Contents

• 第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
• 第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合バランス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
• 第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
• 第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）

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Details

• NCID: BB05352640
• ISBN:
  • 9784627784918
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 230p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• Subject Headings:
  • BSH : マイクロマシン