半導体真空技術 : ポイント解説

著者

• 宇津木, 勝 ウツギ, マサル

書誌事項

半導体真空技術 : ポイント解説

宇津木勝著

東京電機大学出版局, 2011.5

タイトル別名

半導体のための真空技術入門 : 現場で役立つ基礎と応用

タイトル読み

ハンドウタイ シンクウ ギジュツ : ポイント カイセツ

注記

「半導体のための真空技術入門」(工業調査会 , 2007)の改題

参考文献: p213

内容説明・目次

目次

• １　基礎編（半導体製造装置と真空；真空の理論と計算；真空ポンプとその使い方；真空ゲージとその使い方；ガスシステム・真空部分とその使い方；リーク探し；真空装置の取り扱い）
• ２　応用編（サーマル装置とプロセス；プラズマ装置とプロセス；ＰＶＤ装置とプロセス；ＣＶＤ装置とプロセス；エッチング装置とプロセス；インプランテーション装置とプロセス；プロセス管理・検査測定装置）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB05915823
• ISBN:
  • 9784501418908
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 219p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
  • BSH : 真空技術