MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ

著者

• 山崎, 二郎 ヤマサキ, ジロウ
• 本田, 崇 ホンダ, タカシ
• 竹澤, 昌晃 タケザワ, マサアキ

書誌事項

MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ

山崎二郎研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成17年度-平成18年度）

[九州工業大学], 2007.6

タイトル別名

MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ

タイトル読み

MEMS ニヨル ジセイ ザイリョウ ノ コウアスペクトヒ ビサイ カコウ ト ジキ MEMS イヨウ マイクロポンプ

注記

課題番号: 17360143

平成17年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

研究分担者: 本田崇, 竹澤昌晃

参考文献: 各論末

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詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB05972587
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [北九州]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA31388455