高周波半導体の基板技術とデバイス応用
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高周波半導体の基板技術とデバイス応用
（CMCテクニカルライブラリー, 396 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ）
シーエムシー出版, 2011.7
普及版
- タイトル別名
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Substrate technology and device applications of high frequency semiconductor
高周波半導体材料・デバイスの新展開
- タイトル読み
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コウシュウハ ハンドウタイ ノ キバン ギジュツ ト デバイス オウヨウ
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注記
その他のタイトルは「普及版の刊行にあたって」による
初版のタイトル: 高周波半導体材料・デバイスの新展開 (2006年刊行)
文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 第１編 化合物半導体基板技術（ＧａＡｓ基板；ＳｉＣ基板；新材料系基板）
- 第２編 結晶成長技術（３‐Ｖ族化合物成長技術；３‐Ｎ化合物成長技術；Ｓｍａｒｔ Ｃｕｔによるウェーハ貼り合わせ技術）
- 第３編 デバイス技術（３‐Ｖ族系デバイス；３族窒化物系デバイス；シリコン系デバイス；テラヘルツ波半導体デバイス）
「BOOKデータベース」 より