薄膜工学
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薄膜工学
丸善出版, 2011.6
第2版
- Other Title
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Thin film technology
- Title Transcription
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ハクマク コウガク
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薄膜工学
2011.6.
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薄膜工学
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Note
監修: 金原粲
編集企画: 日本学術振興会薄膜第131委員会
初版. -- 丸善, 2003.3
文献あり
その他のタイトルはブックジャケットによる
Description and Table of Contents
Description
薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、最先端エレクトロニクスに不可欠な基盤技術でもある。本書は、その基本事項を解説するとともに、最近の著しい技術発展を踏まえて改訂を行い、微細加工技術を用いた２次元、３次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術なども取り上げて解説する。本書は、薄膜分野の研究や技術開発に携わる人々の入門書として、また、薄膜の基礎技術の解説書として、格好の書である。
Table of Contents
- １ 薄膜工学の基礎（薄膜の基礎；薄膜のプロセスと応用）
- ２ 薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング；化学気相成長法）
- ３ 薄膜の評価（形状・構造評価；組成評価・分析；力学的・機械的性質の評価）
- ４ 薄膜の機能と応用（半導体薄膜；光学薄膜と透明導電膜；誘電体薄膜；磁性薄膜；薄膜の化学的性質と機能；有機薄膜）
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