有機ケイ素を用いたSiCエピキシャル成長の表面化学

著者

• 末光, 眞希 スエミツ, マキ

書誌事項

有機ケイ素を用いたSiCエピキシャル成長の表面化学

研究代表者末光眞希

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度～平成13年度）

末光眞希, 2002.3

タイトル読み

ユウキ ケイソ オ モチイタ SiC エピキシャル セイチョウ ノ ヒョウメン カガク

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06326635
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401