ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価
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ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11~平成12年度)
川添良幸, 2001.3
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ハイブリッド モデル ニ ヨル クラスター タイセキマク ノ サクセイ カテイ ト ソノ ブッセイ ヒョウカ
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