オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミックスの酸化機構解明
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オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミックスの酸化機構解明
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度~平成12年度)
成島尚之, 2001.3
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オゾンガス ニ ヨル シリコン オヨビ シリコンキ セラミックス ノ サンカ キコウ カイメイ
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