はじめての半導体製造装置

著者

• 前田, 和夫 マエダ, カズオ

書誌事項

はじめての半導体製造装置

前田和夫著

（現場の即戦力）

技術評論社, 2011.8

タイトル読み

ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ

注記

工業調査会 1999年刊の再刊

さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p237-240

引用文献および資料: p241-244

内容説明・目次

目次

• ０章　半導体製造装置という世界
• １章　半導体デバイスの製造工程
• ２章　半導体製造装置の技術史
• ３章　半導体製造装置の種類と役割
• ４章　半導体製造装置の構成と方式
• ５章　各種半導体製造装置の概要
• ６章　半導体製造装置の現場
• ７章　半導体製造装置の技術要素
• ８章　半導体製造装置技術のロードマップ
• ９章　２１世紀の半導体製造装置—半導体製造装置進化論

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB0639980X
• ISBN:
  • 9784774147505
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xi, 249p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BA89795385