不純物制御雰囲気スパッタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発
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書誌事項
不純物制御雰囲気スパッタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書)
[角田匡清], 2001.3
- タイトル別名
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平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11555105)
- タイトル読み
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フジュンブツ セイギョ フンイキ スパッタホウ デ サクセイシタ ジンコウ コウシガタ コウカンド ハクマク ジキ センサー ノ カイハツ
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