はじめての半導体リソグラフィ技術

Author(s)

• 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ
• 鈴木, 章義 スズキ, アキヨシ
• 上野, 巧 ウエノ, タクミ

Bibliographic Information

はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著

（現場の即戦力）

技術評論社, 2012.1

Other Title

半導体リソグラフィ技術 : はじめての

Title Transcription

ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ

Note

工業調査会 2003年刊の改訂

参考文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １章　半導体集積回路の発展とリソグラフィ技術
• ２章　光リソグラフィ技術
• ３章　電子線リソグラフィ技術
• ４章　Ｘ線・ＥＵＶリソグラフィ技術
• ５章　その他のリソグラフィ技術
• ６章　マスク技術
• ７章　レジスト技術
• ８章　計測評価技術
• ９章　リソグラフィ技術の課題と今後の展望

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Details

• NCID: BB07670705
• ISBN:
  • 9784774149394
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: x, 301p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 半導体
  • NDLSH : リソグラフィー
• Parent Bibliography ID:
  • BA89795385