薄膜の厚さ測定に音響信号を利用する新しい方法の研究

著者

• 一宮, 亮一 イチミヤ, リョウイチ

書誌事項

薄膜の厚さ測定に音響信号を利用する新しい方法の研究

研究代表者 一宮亮一

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成4年度）

[一宮亮一], 1993.3

タイトル読み

ハクマク ノ アツサ ソクテイ ニ オンキョウ シンゴウ オ リヨウ スル アタラシイ ホウホウ ノ ケンキュウ

注記

課題番号: 03650098

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB07975633
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [新潟]
• ページ数/冊数: 45枚
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735