半導体材料・デバイスの評価 : パラメータ測定と解析評価の実際
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半導体材料・デバイスの評価 : パラメータ測定と解析評価の実際
シーエムシー出版, 2012.5
- タイトル別名
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Semiconductor material and device characterization
半導体材料デバイスの評価 : パラメータ測定と解析評価の実際
- タイトル読み
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ハンドウタイ ザイリョウ デバイス ノ ヒョウカ : パラメータ ソクテイ ト カイセキ ヒョウカ ノ ジッサイ
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注記
文献: 章末
原著第3版の翻訳
内容説明・目次
目次
- 抵抗率
- キャリア密度とドーピング密度
- 接触抵抗とショットキー障壁
- 直列抵抗、チャネルの長さと幅、しきい値電圧
- 欠陥の密度と準位
- 酸化膜および界面にトラップされた電荷、酸化膜の厚さ
- キャリアの寿命
- 移動度
- 電荷のプローブ測定
- 光学的評価法〔ほか〕
「BOOKデータベース」 より