半導体材料・デバイスの評価 : パラメータ測定と解析評価の実際

Author(s)

• Schroder, Dieter K.
• 嶋田, 恭博 シマダ, ヤスヒロ

Bibliographic Information

半導体材料・デバイスの評価 : パラメータ測定と解析評価の実際

ディーター・K・シュロゥダー著 ; 嶋田恭博訳

シーエムシー出版, 2012.5

Other Title

Semiconductor material and device characterization

半導体材料デバイスの評価 : パラメータ測定と解析評価の実際

Title Transcription

ハンドウタイ ザイリョウ デバイス ノ ヒョウカ : パラメータ ソクテイ ト カイセキ ヒョウカ ノ ジッサイ

Note

文献: 章末

原著第3版の翻訳

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 抵抗率
• キャリア密度とドーピング密度
• 接触抵抗とショットキー障壁
• 直列抵抗、チャネルの長さと幅、しきい値電圧
• 欠陥の密度と準位
• 酸化膜および界面にトラップされた電荷、酸化膜の厚さ
• キャリアの寿命
• 移動度
• 電荷のプローブ測定
• 光学的評価法〔ほか〕

by "BOOK database"

• NCID: BB09175332
• ISBN:
  • 9784781304793
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Original Language Code: eng
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: vii, 583p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 半導体